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產(chǎn)品分類SEMI-2500
SEMI-2500

2D和3D技術(shù)的完美結(jié)合

超景深融合技術(shù)
超景深3D技術(shù)
副相機(jī)巡檢高精度倍率

  • 高效率，高精度
    主副相機(jī)協(xié)同工作，兼顧全檢項目效率以及高精度巡檢項目需求
  • 視覺系統(tǒng)
    0.5um精度光柵尺+高速度直線電機(jī)運動模塊，視覺系統(tǒng)XYZ方向運動
  • 運動穩(wěn)定可靠
    高精度大理石工作平臺保證絕對運動時精度穩(wěn)定可靠
  • 同步工作模式
    檢測機(jī)夾爪+推桿同步工作模式，支持最窄板邊距2.5mm
  • AI分割算法
    支持應(yīng)用AI分割算法處理灰度對比度較小的金球魚尾等特征，輔助計算
  • 系統(tǒng)
    ISO Class 4 10000級EFU空氣凈化系統(tǒng)，離子風(fēng)系統(tǒng)

超景深圖像整合系統(tǒng)，矩子采用高速，高精度的運動系統(tǒng)連續(xù)飛拍，并輔以業(yè)界頂尖的GPU硬件及自主算法進(jìn)行圖像高速融合。

矩子采用超景深3D高度恢復(fù)系統(tǒng)，減少高反光的出現(xiàn)，并且不受景深的影響。

視覺系統(tǒng)巡檢副相機(jī)：具備超高的光學(xué)放大倍率 (> 10x APO ) 及圖像分辨率，能夠觀察更微觀的缺陷特征

產(chǎn)品目錄
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